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臭氧對物品表面的微生物也同樣具有殺滅效果，應用也十分廣泛如對餐具、玩具、器皿、醫療器具等進(jìn)行消毒、滅菌，現在市場(chǎng)上的臭氧消毒柜，臭氧可彌漫在器具周?chē)M(jìn)行殺菌，耗電少，殺菌效果顯著(zhù)，彌補了高溫高壓蒸汽、紅外線(xiàn)和紫外線(xiàn)消毒柜的不足。

       如對無(wú)菌室、潔凈室、醫院的工作服的消毒處理，傳統采用高溫高壓蒸汽滅菌，滅菌后棉質(zhì)衣料會(huì )由白變黃，多次滅菌后，衣服纖維變脆而脫落。直接影響衣服的壽命和無(wú)菌室、潔凈室的潔凈度，而現在的綢質(zhì)工作服更不宜用高溫高壓蒸汽滅菌，而采用臭氧消毒處理，它對衣料的損傷程度較低，而且無(wú)任何殘留、印痕和異味，并且較高溫高壓蒸汽滅菌的消毒效果相同或略好，試驗中，對無(wú)菌工作服的試驗用人為污染菌群，總體殺滅率≥95％。
 

       將臭氧氣體用于種蛋消毒，比常規福爾馬林熏蒸時(shí)間短，殘留氣體分解快，使用經(jīng)濟、方便，而且臭氧對種蛋還具有延遲性殺菌作用，使種蛋孵化孵出率明顯提高。